一种单晶硅生产加工拉晶炉的冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202021909445.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212983094U | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN212983094U | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 凌继贝;张忠华;张俊;吴雄 | 申请（专利权）人 | 内蒙古豪安能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张静 |
| 地址 | 014100内蒙古自治区包头市土默特右旗新型工业园区光伏光电产业园1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅生产加工拉晶炉的冷却装置，包括底座、籽晶和冷却装置，本实用新型通过在炉体内部上端设置了冷却装置，依次将进水管和出水管与外部水冷设备连接，然后在将进气管和出气管与外部惰性气体设备连接，然后在外部水冷设备与外部惰性气体设备的运行作用下，使水冷管实现冷却箱内部的循环活动，而在惰性气体循环下，进一步加大冷却箱内部冷却效果，然后单晶棒移入到冷却箱中部时，会在冷却箱内部冷却效果下，实现对单晶棒的冷却，避免单晶棒生长缺陷，从而达到了提高对单晶硅生产速率，避免生产缺陷的优点。 |
