防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201520826715.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205077128U | 公开（公告）日 | 2016-03-09 |
| 申请公布号 | CN205077128U | 申请公布日 | 2016-03-09 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 由龙;黄振革 | 申请（专利权）人 | 山东金鼎电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈双喜 |
| 地址 | 271100 山东省莱芜市钢城经济开发区小上峪村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置包括密封腔体，以及设置于密封腔体内的放料辊、卷取辊、溅射主辊、靶材，所述放料辊及卷取辊分别位于密封腔体内两侧，所述溅射主辊处于放料辊与卷取辊之间的下方。本实用新型在现有技术的基础上通过对溅射主辊内部设水循环系统，使溅射主辊和第一收料导辊与地线相连接，在卷取辊旁设一除静电装置，增加张力摆辊和展平辊等技术改良，有效地减少热损伤、变形、电击人体等现象的发生，使ITO薄膜的生产过程更加安全、高效，其产品更加美观，提高优品率。 |
