VCSEL激光器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010983765.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114204410A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114204410A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | H01S5/042（2006.01）I;H01S5/183（2006.01）I;H01S5/187（2006.01）I;H01S5/343（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王朝成;田志伟 | 申请（专利权）人 | 浙江睿熙科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海领洋专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗晓飞 |
| 地址 | 311113浙江省杭州市良渚街道通运街358号2幢101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种VCSEL激光器及其制备方法。所述VCSEL激光器，包括：外延结构；形成于所述外延结构上且电连接于所述外延结构的种子金属层；形成于所述种子金属层上且电连接于所述种子金属层的第一电极，其中，所述第一电极具有贯穿地形成于其中且对应于所述氧化开孔的出光孔；设置于所述种子金属层的周围的保护层，其中，所述保护层隔离所述种子金属层于外界；以及，电连接于所述外延结构的第二电极。这样，在所述种子金属层的周围设置用于将所述种子金属层与外界相隔离的保护层，以有效地防止所述种子金属层被暴露而发生异化，从而确保所述VCSEL激光器的性能稳定性。 |
