外腔式VCSEL激光器、VCSEL阵列和激光器的制备方法

基本信息

申请号 CN202010448728.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113725726A 公开(公告)日 2021-11-30
申请公布号 CN113725726A 申请公布日 2021-11-30
分类号 H01S5/183(2006.01)I;H01S5/40(2006.01)I;H01S5/42(2006.01)I;H01S5/042(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 林珊珊;王立;李念宜;姚毅飞;郝宇杰;李姗姗 申请(专利权)人 浙江睿熙科技有限公司
代理机构 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 代理人 罗晓飞
地址 311113浙江省杭州市良渚街道通运街358号2幢101室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种外腔式VCSEL激光器、VCSEL阵列和激光器的制备方法。所述外腔式VCSEL激光器通过配置合适的发光孔径和/或腔长和/或反射膜,以输出满足预设要求的亮度,制造工艺简单、成本较低。