外腔式VCSEL激光器、VCSEL阵列和激光器的制备方法
基本信息
申请号 | CN202010448728.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113725726A | 公开(公告)日 | 2021-11-30 |
申请公布号 | CN113725726A | 申请公布日 | 2021-11-30 |
分类号 | H01S5/183(2006.01)I;H01S5/40(2006.01)I;H01S5/42(2006.01)I;H01S5/042(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 林珊珊;王立;李念宜;姚毅飞;郝宇杰;李姗姗 | 申请(专利权)人 | 浙江睿熙科技有限公司 |
代理机构 | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 罗晓飞 |
地址 | 311113浙江省杭州市良渚街道通运街358号2幢101室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供一种外腔式VCSEL激光器、VCSEL阵列和激光器的制备方法。所述外腔式VCSEL激光器通过配置合适的发光孔径和/或腔长和/或反射膜,以输出满足预设要求的亮度,制造工艺简单、成本较低。 |
