可分区导通的VCSEL激光光源及其制备方法和驱动方法

基本信息

申请号 CN202010330883.8 申请日 -
公开(公告)号 CN113644545A 公开(公告)日 2021-11-12
申请公布号 CN113644545A 申请公布日 2021-11-12
分类号 H01S5/183(2006.01)I;H01S5/42(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 林珊珊;郭铭浩;李念宜;王立;姚毅飞;李姗姗;郝宇杰 申请(专利权)人 浙江睿熙科技有限公司
代理机构 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 代理人 罗晓飞
地址 311113浙江省杭州市良渚街道通运街358号2幢101室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种可分区导通的VCSEL激光光源、制备方法及驱动方法。该光源包括:VCSEL阵列;形成于所述VCSEL阵列顶部的顶部电导通图案,以及,形成于所述VCSEL阵列底部的底部电导通图案。所述VCSEL阵列,包括相互电隔离的多个VCSEL单元,其中每一VCSEL单元自下而上包括衬底、底部反射器、有源区、具有开孔的限制层、顶部反射器和欧姆接触层。所述底部电导通图案包括第一电导通图案和第二电导通图案,其中所述第一电导通图案电连接于所述多个VCSEL单元中的第一子集,以及,所述第二电导通图案电连接于所述多个VCSEL单元中的第二子集。这样,所述激光光源通过负极布线的方式实现分区导通,以解决散热难题并能够适应不同的应用场景。