可分区导通的VCSEL激光光源及其制备方法和驱动方法
基本信息
申请号 | CN202010330883.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113644545A | 公开(公告)日 | 2021-11-12 |
申请公布号 | CN113644545A | 申请公布日 | 2021-11-12 |
分类号 | H01S5/183(2006.01)I;H01S5/42(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 林珊珊;郭铭浩;李念宜;王立;姚毅飞;李姗姗;郝宇杰 | 申请(专利权)人 | 浙江睿熙科技有限公司 |
代理机构 | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 罗晓飞 |
地址 | 311113浙江省杭州市良渚街道通运街358号2幢101室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供一种可分区导通的VCSEL激光光源、制备方法及驱动方法。该光源包括:VCSEL阵列;形成于所述VCSEL阵列顶部的顶部电导通图案,以及,形成于所述VCSEL阵列底部的底部电导通图案。所述VCSEL阵列,包括相互电隔离的多个VCSEL单元,其中每一VCSEL单元自下而上包括衬底、底部反射器、有源区、具有开孔的限制层、顶部反射器和欧姆接触层。所述底部电导通图案包括第一电导通图案和第二电导通图案,其中所述第一电导通图案电连接于所述多个VCSEL单元中的第一子集,以及,所述第二电导通图案电连接于所述多个VCSEL单元中的第二子集。这样,所述激光光源通过负极布线的方式实现分区导通,以解决散热难题并能够适应不同的应用场景。 |
