VCSEL芯片及其制造方法

基本信息

申请号 CN202011520057.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113612110A 公开(公告)日 2021-11-05
申请公布号 CN113612110A 申请公布日 2021-11-05
分类号 H01S5/40(2006.01)I;H01S5/42(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 郭铭浩;陈信男;王立;李念宜;王朝成;田志伟 申请(专利权)人 浙江睿熙科技有限公司
代理机构 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 代理人 罗晓飞
地址 311113浙江省杭州市良渚街道通运街358号2幢101室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种VCSEL芯片及其制造方法。所述VCSEL芯片包括多个相互串联的子芯片,每个所述子芯片包括预设数量的VCSEL单元,所述子芯片之间具有预防各所述子芯片产生的热量对其相邻的子芯片的输出光功率产生影响的预设间距,通过这样的配置,所述VCSEL芯片能够在相对较小的电流驱动下,实现较大的光功率输出,并且,所述VCSEL芯片具有良好的高温表现能力。