单片集成式VCSEL芯片

基本信息

申请号 CN202010919648.4 申请日 -
公开(公告)号 CN114142346A 公开(公告)日 2022-03-04
申请公布号 CN114142346A 申请公布日 2022-03-04
分类号 H01S5/42(2006.01)I;H01S5/183(2006.01)I;H01S5/187(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 郭铭浩;林珊珊;王立;李念宜 申请(专利权)人 浙江睿熙科技有限公司
代理机构 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 代理人 罗晓飞
地址 311113浙江省杭州市良渚街道通运街358号2幢101室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种单片集成式VCSEL芯片,其包括第一VCSEL子芯片,所述第一VCSEL芯片包括以第一阵列布设的多个第一VCSEL单元;以及与所述第一VCSEL子芯片单片集成地第二VCSEL子芯片,所述第二VCSEL子芯片包括以第二阵列布设的多个第二VCSEL单元;其中,所述第一VCSEL子芯片与所述第二VCSEL子芯片在结构上共用N‑DBR结构。这样,所述单片集成式VCSEL芯片在晶圆级别上实现将多个VCSEL芯片进行单片地集成,以使得其能够兼具不同的VCSEL芯片各自的优势,且具有相对较小的整体尺寸。