一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置
基本信息
| 申请号 | CN202022743278.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213843754U | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN213843754U | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘斌 | 申请（专利权）人 | 天津普林电路股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京沁优知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李蓓蕾 |
| 地址 | 300000天津市滨海新区自贸试验区（空港经济区）航海路53号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种激光成像曝光机提高台面吸板真空度装置，包括粘接固定连接在曝光机台面顶端的密封装置，所述密封装置用于密封住台面上的真空孔，所述密封装置包括若干阻气垫片，各阻气垫片之间为粘接连接，所述粘接连接使用胶带粘接实现，所述阻气垫片均为透明基片。本实用新型提高了激光成像曝光机真空度，防止出现曝光解析不良或对位偏位等问题。 |
