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集成电路工艺检测设备(Xi-Line 530)

基本信息

申请号 CN200930099014.3 申请日 -
公开（公告）号 CN301139090D 公开（公告）日 2010-02-17
申请公布号 CN301139090D 申请公布日 2010-02-17
分类号 10-05 分类 -
发明人 谢历铭 申请（专利权）人 上海泽尔尼仪器有限公司
代理机构 上海世贸专利代理有限责任公司 代理人 叶克英
地址 201411上海市奉贤区奉城镇人本工业园德胜路111号
法律状态 -

摘要

摘要 1.使用本外观设计的产品为大型落地产品，省略仰视图。2.使用本外观设计的产品用于晶圆光刻集成电路尺寸检测和掩膜板/光罩激光刻蚀尺寸检测。