一种高均匀合成石英坨的制备工艺

基本信息

申请号 CN202111402818.2 申请日 -
公开(公告)号 CN113912270A 公开(公告)日 2022-01-11
申请公布号 CN113912270A 申请公布日 2022-01-11
分类号 C03B20/00(2006.01)I 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 陈富伦;刘明伟;倪玲 申请(专利权)人 连云港太平洋半导体材料有限公司
代理机构 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 马志洋
地址 222000江苏省连云港市东海县牛山街道晶都大道东路1067号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种高均匀合成石英坨的制备工艺,包括烧结炉、保温炉、燃烧器、电动伸缩杆、石英玻璃靶托和加压装置,包括原料的组成:氢气、氧气和石英砂,烧结炉顶部两端分别设有石英砂投放口和废气排出管道,烧结炉靠近底部一端安装有燃烧器,燃烧器分为三层,两端燃烧器分别固定连接有氢气管道和氧气管道,本发明的有益效果如下:通过多层燃烧器,保持石英坨的温度,防止其底部冷却速度过快,导致质量出现问题;通过加压装置对石英坨进行挤压,便于石英坨的成型,通过加热加压装置,便于石英坨顶部气泡的排除;通过使用抽真空设备,便于抽走空气,帮助减少气泡,通过使用保温设备,便于石英坨缓慢降温,防止降温过快,防止其损坏。