一种石英玻璃管表面涂层的制备工艺

基本信息

申请号 CN202111486079.X 申请日 -
公开(公告)号 CN114289286A 公开(公告)日 2022-04-08
申请公布号 CN114289286A 申请公布日 2022-04-08
分类号 B05D7/24(2006.01)I;B05D5/00(2006.01)I;B05D1/38(2006.01)I;B05D3/04(2006.01)I;C09D1/00(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 陈士斌;刘明伟;钱卫刚;高凡 申请(专利权)人 连云港太平洋半导体材料有限公司
代理机构 北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 张继鑫
地址 222000江苏省连云港市东海县牛山街道晶都大道东路1067号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种石英玻璃管表面涂层的制备工艺,制备工艺包括以下步骤:提供石英玻璃管,向石英玻璃管表面喷洒第一涂层材料,第一涂层材料包含基于溶剂的纳米级氧化铝粉末的溶胶溶液;旋转石英玻璃管进行旋涂工艺,使第一涂层材料覆盖于石英玻璃管表面,形成第一材料层;对第一材料层进行炙烤处理,使第一材料层熔融固化于石英玻璃管的表面,形成第一涂层。本发明的制备工作能够在石英玻璃管表面形成均匀厚度的涂层,并且能够提高石英玻璃管的高温稳定性。