吸收性缺陷单光束光热测量装置
基本信息
| 申请号 | CN202020764330.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212646516U | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN212646516U | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | G01N21/95(2006.01)I;G01N21/17(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘世杰;倪开灶;邵建达;王微微;徐天柱;李英甲;鲁棋 | 申请（专利权）人 | 上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张宁展 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区清河路390号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种吸收性缺陷单光束光热测量装置，该装置包括共光路型和非共光路型结构。本实用新型光路结构简单，便于安装调试。测量结果稳定，避免环境振动、样品倾斜导致的测量信号异常。通过探测光斑边缘的光束的功率变化，系统的测量灵敏度得到显著提升。 |
