一种小F数凸双曲面反射镜检测光路的搭建方法
基本信息

| 申请号 | CN202010013788.5 | 申请日 | - |
| 公开(公告)号 | CN111122121A | 公开(公告)日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN111122121A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | G01M11/00;G01M11/02 | 分类 | 测量;测试; |
| 发明人 | 王哲;徐学科;朱小磊;吴令奇;方媛媛;宋力 | 申请(专利权)人 | 上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 张宁展 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区清河路390号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要

| 摘要 | 本发明涉及光学检测领域,具体是小F数凸双曲面反射镜检测光路的搭建方法。解决了传统小F数凸双曲面反射镜检测光路难以搭建的问题。本发明利用会聚光斑快速使干涉仪与待测双曲面镜的光轴共线,并确定球面镜的准确位置,最终高效完成检测光路的搭建。 |





