一种小F数凸双曲面反射镜检测光路的搭建方法

基本信息

申请号 CN202010013788.5 申请日 -
公开(公告)号 CN111122121A 公开(公告)日 2021-07-06
申请公布号 CN111122121A 申请公布日 2021-07-06
分类号 G01M11/00;G01M11/02 分类 测量;测试;
发明人 王哲;徐学科;朱小磊;吴令奇;方媛媛;宋力 申请(专利权)人 上海恒益光学精密机械有限公司
代理机构 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 张宁展
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及光学检测领域,具体是小F数凸双曲面反射镜检测光路的搭建方法。解决了传统小F数凸双曲面反射镜检测光路难以搭建的问题。本发明利用会聚光斑快速使干涉仪与待测双曲面镜的光轴共线,并确定球面镜的准确位置,最终高效完成检测光路的搭建。