大口径蓝宝石窗口元件的双面高精度抛光方法
基本信息
| 申请号 | CN201910671137.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110434681B | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN110434681B | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | B24B1/00（2006.01）I;B24B13/01（2006.01）I;B24B57/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 方媛媛;吴福林;王哲;顿爱欢;徐学科;贺洪波 | 申请（专利权）人 | 上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张宁展 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区清河路390号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种大口径蓝宝石窗口元件的双面高精度抛光方法，本发明不仅可以满足大口径蓝宝石窗口元件的双面反射面形优于1/3λ，表面粗糙度优于0.3nm，平行度优于0.009，表面光洁度优于Ⅲ级的加工要求，而且工艺简单，可直接在单轴抛光机上应用，对设备要求低，可加工口径范围广，生产效率高，生产成本低。 |
