一种单晶硅柱面元件的加工方法
基本信息
| 申请号 | CN201910671460.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110465835A | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN110465835A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | B24B1/00;B08B3/12;B08B3/02 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王哲;徐学科;吴令奇;方媛媛;宋力 | 申请（专利权）人 | 上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张宁展 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区清河路390号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及光学超光滑加工领域，具体是一种单晶硅柱面元件的加工方法，利用古典抛光方法加工超光滑平面元件，经超声清洗后，使用大气等离子体抛光设备进行柱面成型，精修面形，多次迭代抛光，最终完成柱面元件的加工，解决了传统柱面镜加工中无法兼顾高精度与超光滑加工的问题。 |
