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一种多晶铸锭炉

基本信息

申请号 CN201420579867.2 申请日 -
公开（公告）号 CN204151458U 公开（公告）日 2015-02-11
申请公布号 CN204151458U 申请公布日 2015-02-11
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王土军;徐闻韬;徐增宏 申请（专利权）人 浙江硅宏电子科技有限公司
代理机构 杭州九洲专利事务所有限公司 代理人 陈继亮
地址 324300 浙江省衢州市开化县华埠镇华丰路28号硅宏
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种多晶铸锭炉，该多晶铸锭炉的坩埚位于隔热笼中，坩埚顶部以及隔热笼内设有顶部加热器，坩埚两侧以及隔热笼内设有侧部加热器，坩埚底部设有热交换块，热交换块呈凸形且凸起的一面与坩埚底部接触，在热交换块上部凸起部分四周设置有隔热条，在热交换块下部平板部分四周设置有保温毡且至少超出热交换块的平板部分的底部10㎝以上。采用本实用新型，由于热交换块呈中间厚两侧薄，隔热条可以延缓中间（即凸起部分）向两侧的散热，保温毡超出热交换块下部使底部有足够的大纵向温度梯度，使热量能均匀的从热交换块下面辐射出来，促进均匀长晶，提高铸锭品质，又能充分保留炉体内足够多不熔化的硅料有利于下次铸锭。