扩散石英舟的改进装置
基本信息
| 申请号 | CN201220135168.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202487548U | 公开（公告）日 | 2012-10-10 |
| 申请公布号 | CN202487548U | 申请公布日 | 2012-10-10 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C30B31/00(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 韩波;丁巍;高常辉;袁前程 | 申请（专利权）人 | 宁波升科太阳能股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州金源通汇专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 宁波升科太阳能股份有限公司 |
| 地址 | 315040 浙江省宁波市高新区凌云路1177号-7号楼（宁波升科太阳能股份有限公司） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扩散石英舟的改进装置，包括石英舟本体和舟叉，所述石英舟本体两侧设有与舟叉相配合的叉把，所述舟叉上设有螺母，其特征是所述螺母前端设有垫片。本实用新型得到的扩散石英舟的改进装置，通过上述的结构设计，来阻止石英舟与舟叉的碰撞，避免了石英舟的损坏而使得扩散硅片的掉落，提高了生产的安全性，降低了生产成本，让使用更加安全。 |
