单晶硅清洗槽洁净度监测装置
基本信息
申请号 | CN201220135192.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202509158U | 公开(公告)日 | 2012-10-31 |
申请公布号 | CN202509158U | 申请公布日 | 2012-10-31 |
分类号 | C30B33/10(2006.01)I;C23G3/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 韩波;袁前程;高常辉;丁杰 | 申请(专利权)人 | 宁波升科太阳能股份有限公司 |
代理机构 | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 宁波升科太阳能股份有限公司 |
地址 | 315040 浙江省宁波市高新区凌云路1177号-7号楼(宁波升科太阳能股份有限公司) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅清洗槽洁净度监测装置,包括安装壁以及两侧边与安装壁固定连接的清洗槽,其特征是安装壁上设有监控清洗槽清洁度的红外感应摄像装置,安装壁外侧还设有与红外感应摄像装置相连接的控制电脑。本实用新型得到的单晶硅清洗槽洁净度监测装置,能够准确判断槽体的状况,根据槽体的洁净度及时的处理槽体浓度,消除飘片影响,节省时间,提高效率且增加了收益,也有益于操作人员的健康。 |
