单晶硅清洗槽洁净度监测装置

基本信息

申请号 CN201220135192.3 申请日 -
公开(公告)号 CN202509158U 公开(公告)日 2012-10-31
申请公布号 CN202509158U 申请公布日 2012-10-31
分类号 C30B33/10(2006.01)I;C23G3/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 韩波;袁前程;高常辉;丁杰 申请(专利权)人 宁波升科太阳能股份有限公司
代理机构 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 代理人 宁波升科太阳能股份有限公司
地址 315040 浙江省宁波市高新区凌云路1177号-7号楼(宁波升科太阳能股份有限公司)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶硅清洗槽洁净度监测装置,包括安装壁以及两侧边与安装壁固定连接的清洗槽,其特征是安装壁上设有监控清洗槽清洁度的红外感应摄像装置,安装壁外侧还设有与红外感应摄像装置相连接的控制电脑。本实用新型得到的单晶硅清洗槽洁净度监测装置,能够准确判断槽体的状况,根据槽体的洁净度及时的处理槽体浓度,消除飘片影响,节省时间,提高效率且增加了收益,也有益于操作人员的健康。