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一种生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法

基本信息

申请号 CN202110873609.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113683291A 公开（公告）日 2021-11-23
申请公布号 CN113683291A 申请公布日 2021-11-23
分类号 C03B8/04 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 杨金鑫;肖华;胡邦红;吴龙波;张旭阳;孙国锋;钟媛;张思旗 申请（专利权）人 江苏亨芯石英科技有限公司
代理机构 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 吴竹慧
地址 215200江苏省苏州市吴江经济技术开发区交通北路168号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法，该方法采用化学气相沉积工艺，即向多个燃烧器中通入氢气和氧气，氢气和氧气在燃烧器中燃烧进而对沉积炉炉腔进行预热；预热完成后，将沉积炉内石英基板的温度升高至指定温度，同时启动温度探测器使其开始工作；通过每个燃烧器的下料管向沉积炉内通入气态含硅化合物，氢气和氧气在燃烧器中燃烧产生水蒸汽，该水蒸汽与气态含硅化合物在沉积炉内反应生成二氧化硅颗粒；二氧化硅颗粒在转动的石英基板上逐渐沉积形成石英玻璃坨，且所述温度探测器动态监测二氧化硅颗粒沉积面的温度分布；本发明通过增加燃烧器及沉积面温度测试保证沉积面温度的均匀性，从而保证石英玻璃的结构均匀性。