一种生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法
基本信息
申请号 | CN202110873609.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113683291A | 公开(公告)日 | 2021-11-23 |
申请公布号 | CN113683291A | 申请公布日 | 2021-11-23 |
分类号 | C03B8/04 | 分类 | 玻璃;矿棉或渣棉; |
发明人 | 杨金鑫;肖华;胡邦红;吴龙波;张旭阳;孙国锋;钟媛;张思旗 | 申请(专利权)人 | 江苏亨芯石英科技有限公司 |
代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 吴竹慧 |
地址 | 215200江苏省苏州市吴江经济技术开发区交通北路168号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法,该方法采用化学气相沉积工艺,即向多个燃烧器中通入氢气和氧气,氢气和氧气在燃烧器中燃烧进而对沉积炉炉腔进行预热;预热完成后,将沉积炉内石英基板的温度升高至指定温度,同时启动温度探测器使其开始工作;通过每个燃烧器的下料管向沉积炉内通入气态含硅化合物,氢气和氧气在燃烧器中燃烧产生水蒸汽,该水蒸汽与气态含硅化合物在沉积炉内反应生成二氧化硅颗粒;二氧化硅颗粒在转动的石英基板上逐渐沉积形成石英玻璃坨,且所述温度探测器动态监测二氧化硅颗粒沉积面的温度分布;本发明通过增加燃烧器及沉积面温度测试保证沉积面温度的均匀性,从而保证石英玻璃的结构均匀性。 |
