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一种转子铸铝用具的表面处理方法及其涂层

基本信息

申请号	CN201810801138.X	申请日	-
公开（公告）号	CN109207937A	公开（公告）日	2019-01-15
申请公布号	CN109207937A	申请公布日	2019-01-15
分类号	C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;B22C3/00	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	甄洪滨;曾柳娟;施松铃	申请（专利权）人	福建浦汇科技发展有限公司
代理机构	北京元本知识产权代理事务所	代理人	福建浦汇科技发展有限公司;甄洪滨
地址	355000 福建省宁德市福安市赛岐经济开发区赛江北路68号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种转子铸铝用具的表面处理方法及其涂层。一种转子铸铝用具的表面处理方法，包括：将所述用具放入真空室内的转盘上并启动转盘；清洗并刻蚀所述用具表面；在所述用具表面沉积Cr结合层；在所述Cr结合层上沉积由CrN和Cr交替形成的CrN/Cr支撑层；在所述CrN/Cr支撑层上沉积由AlTiN和CrN交替形成的AlTiN/CrN表面层。所述Cr结合层、CrN/Cr支撑层和AlTiN/CrN表面层采用多弧离子镀沉积；其中，沉积Cr结合层、CrN/Cr支撑层的靶材为Cr靶；沉积AlTiN/CrN表面层的靶材为Cr靶和AlTi靶。本发明采用多层薄膜复合结构，可有效抑制裂纹的产生和扩展，延长铸铝用具的使用寿命。