一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备

基本信息

申请号 CN202110832303.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113637532A 公开(公告)日 2021-11-12
申请公布号 CN113637532A 申请公布日 2021-11-12
分类号 C11D1/83(2006.01)I;C11D3/04(2006.01)I;C11D3/33(2006.01)I;C11D3/36(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I;F24H7/02(2006.01)I;F25D17/02(2006.01)I 分类 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛;
发明人 万小宁 申请(专利权)人 镌致实业(重庆)有限公司
代理机构 重庆弘毅智行专利代理事务所(普通合伙) 代理人 张庆淡
地址 402660重庆市潼南区工业园区一期标准厂房服务大楼2楼217
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及清洗液生产技术领域,具体涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备;包括制备罐、加热组件和冷却组件,加热组件包括第一电热网、中空导热管、加热管、导风板、液压缸、风机和第二电热网,第一电热网通电产生热量,中空导热管将热量传递给制备罐侧壁加热原料,第一电热网和中空导热管的设置,增加与制备罐的接触面积,使制备罐侧壁受热均匀,液压缸将导风板下移,使加热管插入原料内,风机和第二电热网通电,使加热管往原料内吹入热风,使制备罐中部的原料受热均匀,解决传统清洗液生产设备通过加热块加热,受热不均匀,局部温度过高影响清洗液质量的问题。