一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备
基本信息
| 申请号 | CN202210246437.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114602351A | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN114602351A | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | B01F27/90（2022.01）I;B01F35/92（2022.01）I;C11D1/83（2006.01）I;C11D3/04（2006.01）I;C11D3/33（2006.01）I;C11D3/36（2006.01）I;C11D11/00（2006.01）I;B01F101/24（2022.01）N | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 万小宁 | 申请（专利权）人 | 镌致实业（重庆）有限公司 |
| 代理机构 | 重庆弘毅智行专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 402660重庆市潼南区工业园区一期标准厂房服务大楼2楼217 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及清洗液生产技术领域，具体涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备；包括制备罐和冷却箱，冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，将清洗液组成原料依次导入制备罐内混合加热制备混合液，混合液导入箱体后，通过换热器吸收混合液热量并与外界空气进行热量交换，同时风机运作往冷风管内吹风，冷风管将风制冷后导入出风板，出风板将冷风吹出对混合液进行风冷散热，通过换热器和风冷器的双重散热，大大的缩短了混合液的冷却时间，从而有效的提高了清洗液的生产效率，解决传统清洗液生产设备生产清洗液，清洗液自然冷却降低生产效率的问题。 |
