一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备
基本信息
| 申请号 | CN202110832321.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113480494A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113480494A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C07D277/72（2006.01）I;B01F13/10（2006.01）I;B01F15/00（2006.01）I;B01F15/02（2006.01）I;B01J19/00（2006.01）I;B01J19/18（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 万小宁 | 申请（专利权）人 | 镌致实业（重庆）有限公司 |
| 代理机构 | 重庆弘毅智行专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张庆淡 |
| 地址 | 402660重庆市潼南区工业园区一期标准厂房服务大楼2楼217 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备，底壳与釜体转动连接，进气阀与釜体连通，进气阀和氮气供应装置连接通入氮气进行保护；进料壳的第一进料口放入甲苯，第二进料口放入需要萃取的2‑巯基苯骈噻唑原料，混合壳与进料壳连通，进入的甲苯和原料进入混合壳中，加压泵与混合壳连通，可以向混合壳中冲入氮气以提高气压，喷嘴与混合壳连通喷出混合后的液体，第二单向阀设置在混合壳和进料壳连接处，过滤网与底壳可拆卸连接，第一出料管穿过底壳，原料通过第一出料管排出，通过过滤网的甲苯物质通过第二出料管排出，使得加工过程在封闭环境中完成，避免有害物质外泄。 |
