首页/ 重庆臻宝科技股份有限公司/ 专利详情

一种具有双极回路下部电极的涂布式制备工艺

基本信息

申请号 CN202210408074.3 申请日 -
公开（公告）号 CN114743899A 公开（公告）日 2022-07-12
申请公布号 CN114743899A 申请公布日 2022-07-12
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I;B05D1/32（2006.01）I;B05D3/12（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 李今梅;杨佐东 申请（专利权）人 重庆臻宝科技股份有限公司
代理机构 重庆乐泰知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 -
地址 401326重庆市九龙坡区西彭镇森迪大道66号附72号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有双极回路下部电极的涂布式制备工艺，属于下部电极制作技术领域，首先用增材方式在基板表面形下层绝缘层；然后在下层绝缘层上铺设遮蔽夹具，遮蔽夹具的形状与需要形成的电极回路的形状对应；随后通过均匀涂布装置在遮蔽夹具上涂布回路电极材料，回路电极材料呈膏体状，通过在下层绝缘层表面从内到外呈环形的涂布方式，使下层绝缘层上的未遮蔽区域被均匀涂布；形成电极层回路后再形成上层绝缘层，最后对上层绝缘层进行研磨使上层绝缘层的表面平整。本发明工艺通过将电极回路的制作方式改变成膏体涂布，不仅省去了研磨加工的时间，降低了不良率，节省了返工导致的材料、人工、设备等成本。