一种多晶硅沉积用载体
基本信息
| 申请号 | CN202122304602.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215479765U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215479765U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C01B33/035（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 刘虎;侯哲辉;杜斌功;安生虎;李生全;高鹏;张永辉;火兴宏;贾龙山;狄永顺 | 申请（专利权）人 | 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 |
| 代理机构 | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址 | 810000青海省西宁市东川工业园区昆仑东路20号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅沉积用载体，包括两根管状的硅芯和连接在两根所述硅芯之间的硅桥，两根所述硅芯的底部分别连接在还原炉的两个不同的电极上，至少一根所述硅芯的表面开设有若干贯穿其管壁的第一沉积孔，所述硅桥的表面开设有若干贯穿其径向的第二沉积孔。本实用新型采用两根管状的硅芯固定在还原炉电极底座上的不同电极上，利用硅桥连接相邻的两根管状的硅芯，每根硅芯的管壁和硅桥的表面均形成多个贯穿的沉积孔，使得多晶硅还可以进入到硅芯和硅桥的内部进行沉积，从而在有限的载体体积下显著提高多晶硅沉积载体的表面积，提升硅棒的沉积速度。 |
