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一种电子级多晶硅硅块酸洗装置及酸洗笼

基本信息

申请号 CN202111026971.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113699596A 公开（公告）日 2021-11-26
申请公布号 CN113699596A 申请公布日 2021-11-26
分类号 C30B35/00（2006.01）I;C30B33/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C23F1/16（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 孙彦虎;郭海龙;周国峰;张万军;万金兰;刘虹宾;马玉通;赵彩霞 申请（专利权）人 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司
代理机构 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 代理人 孙伟峰;阳志全
地址 810000青海省西宁市东川工业园区昆仑东路20号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种电子级多晶硅硅块酸洗装置及酸洗笼，酸洗装置包括酸洗笼、酸洗池和驱动臂，酸洗笼的滚筒内形成供硅块容纳的空腔，滚筒的周向上间隔地开设有连通空腔的若干进液孔；滚筒具有周向上连续的啮合齿面，酸洗池的第一侧壁的内表面凸设有沿其高度方向上延伸的齿面；两个驱动臂分别与酸洗笼两端的转轴可转动地连接，用于沿酸洗池的高度方向上往复移动，以带动滚筒通过齿面的啮合而旋转。本发明的酸洗笼可以在酸洗液内上下移动的过程中进行旋转，从而带动笼内的多晶硅硅块翻转，实现了多晶硅硅块与酸洗液的充分接触反应，高效去除表面金属和酸斑，使得蚀刻更加均匀，因此，在提高酸洗效率的同时大幅度提升了电子级多晶硅的产品质量。