换靶装置
基本信息
| 申请号 | CN201922096394.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211199384U | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN211199384U | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 徐旻生;庄炳河;张晓鹏;王应斌;龚文志;张亮;李永杰 | 申请（专利权）人 | 爱发科（中国）投资有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司;爱发科（中国）投资有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道科技北二路28号豪威大楼二楼A区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于装换靶材技术领域，尤其涉及一种换靶装置，包括移动小车、导向导轨以及连靶机构，导向导轨与移动小车滑接配合，并沿置靶方向延伸设置，且用于引导移动小车沿置靶方向移动，连靶机构连接于移动小车，并用于与柱靶可拆卸连接。基于本实用新型的结构，在装换柱板的过程中，柱靶不会发生侧倾，从而避免了柱靶与靶槽的槽壁发生摩擦、磕碰等。 |
