装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201811441180.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110616407A | 公开（公告）日 | 2019-12-27 |
| 申请公布号 | CN110616407A | 申请公布日 | 2019-12-27 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）; C23C14/50（2006.01）; C23C14/56（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 徐旻生; 庄炳河; 王应斌; 龚文志; 李永杰; 张亮 | 申请（专利权）人 | 爱发科（中国）投资有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司;爱发科（中国）投资有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道科技北二路28号豪威大楼二楼A区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备，其中，装卸片装置包括装料机构和卸料机构，装料机构包括装料抓爪、装料驱动组件、装料升降组件以及装料吸持组件，卸料机构包括卸料抓爪、卸料驱动组件、装料升降组件以及卸料吸持组件。基于发明的结构，可以不断地将基片装载至挂片送料装置，以及在基片完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。 |
