一种真空镀密封装置

基本信息

申请号 CN201010568966.7 申请日 -
公开(公告)号 CN102080215B 公开(公告)日 2012-11-28
申请公布号 CN102080215B 申请公布日 2012-11-28
分类号 C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 江明;吴小邦;杨建如;杨建强;杨建栋;杨建丰 申请(专利权)人 常州常松金属复合材料有限公司
代理机构 常州市维益专利事务所 代理人 常州常松金属复合材料有限公司;常州捷顺复合材料有限公司
地址 213023 江苏省常州市钟楼经济开发区星港路65号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及金属卷材的真空镀设备技术领域,特别是一种真空镀密封装置,包括将箱体分隔成多个腔室的隔板和隔板开口处的上下辊筒,在隔板开口处设置密封座,密封座与隔板另一面的腔室相通,密封座与上下辊筒之间设置密封件,隔板、密封座、上下辊筒和密封件构成密封室。本装置实现了在卷钢板真空镀输送中让每个腔室相对密封,采用真空度逐级提高的方法,以达到高真空度的目的。