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一种单锥型孔道重离子微孔滤膜的制造方法

基本信息

申请号 CN201310511045.0 申请日 -
公开（公告）号 CN103521088B 公开（公告）日 2015-12-02
申请公布号 CN103521088B 申请公布日 2015-12-02
分类号 B01D67/00(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 安孟稼;亢抒中;杨忠;刘泽超 申请（专利权）人 北京南洋慧通新技术有限公司
代理机构 北京市盛峰律师事务所 代理人 赵建刚
地址 100085 北京市海淀区上地东路35号院2号楼2-110
法律状态 -

摘要

摘要 一种单锥型孔道重离子微孔滤膜的制造方法，用重离子加速器加速的重离子或核反应堆产生的裂变碎片对用于辐照的薄膜进行辐照；用涂布机在辐照过的所述薄膜的单面上涂布保护层，并进行烘干；将涂好保护层的所述薄膜放入蚀刻设备中进行化学蚀刻，形成微孔孔道截面为锥形的重离子微孔滤膜；将化学蚀刻完成的所述重离子微孔滤膜放入清洗设备中进行去除清洗，将所述保护层去除；将去除保护层的所述重离子微孔滤膜放入去离子水清洗设备中进行清洗；将清洗后的所述重离子微孔滤膜放入烘干设备中进行烘干。本发明可以显著降低过滤膜的堵塞几率，提高产品流速、延长使用寿命，提高产品生产效率和成品率。