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一种重离子微孔滤膜的辐照方法

基本信息

申请号 CN201310509331.3 申请日 -
公开（公告）号 CN103521087A 公开（公告）日 2014-01-22
申请公布号 CN103521087A 申请公布日 2014-01-22
分类号 B01D67/00(2006.01)I;B01J19/12(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 陈大年;安孟稼;刘泽超;易蓉 申请（专利权）人 北京南洋慧通新技术有限公司
代理机构 北京市盛峰律师事务所 代理人 赵建刚
地址 100085 北京市海淀区上地东路35号院2号楼2-110
法律状态 -

摘要

摘要 一种重离子微孔滤膜的辐照方法，在辐照装置的窗口前将用于辐照的薄膜横向间隔划分为辐照区和非辐照区，在所述非辐照区设置阻挡重离子通过的辐照阻隔器；用重离子加速器加速的重离子或核反应堆产生的裂变碎片对所述薄膜进行辐照；将辐照好的所述薄膜进行紫外增敏照射；将增敏照射后的所述薄膜进行化学蚀刻，形成带有无孔窄条的重离子微孔滤膜；将化学蚀刻完成的所述薄膜放入去离子水清洗设备中进行清洗；将清洗后的所述薄膜放入烘干设备中进行烘干。本发明在重离子微孔滤膜制作过程中适当增加未辐照区域，可以显著增强重离子微孔滤膜的强度，提高产品合格率和生产效率，同时也能得到更大孔隙率的重离子微孔滤膜。