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PERC太阳能电池及其制备方法

基本信息

申请号	CN201610038035.3	申请日	-
公开（公告）号	CN105489709B	公开（公告）日	2018-04-13
申请公布号	CN105489709B	申请公布日	2018-04-13
分类号	H01L31/18;H01L31/0216	分类	基本电气元件;
发明人	张为国;刘超;刘成法;张松;陈寒;夏世伟;季海晨	申请（专利权）人	上海大族新能源科技有限公司
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	上海大族新能源科技有限公司
地址	201615 上海市松江区九泾路1000号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种PERC太阳能电池及其制备方法。上述PERC太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：对硅片依次进行双面抛光、制绒、扩散、刻蚀和去杂质玻璃、高锰酸氧化；背面沉积钝化层以及保护层；正面沉积减反射层；背面局部开口、印刷正背面金属浆料以及烧结，得到PERC太阳能电池。与传统的PERC太阳能电池的制备方法相比，本发明的PERC太阳能电池的制备方法，在硅片制绒之前先进行双面抛光，便于后续制绒；同时，在背面沉积钝化层以及保护层之前对去杂质玻璃之后的硅片进行氧化，起到钝化作用。均能降低结区复合，提高开路电压，能够提高产品良率。同时，本发明基于常规工艺，产品良率高。此外，上述PERC太阳能电池根据上述PERC太阳能电池的制备方法制备而成。