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扩散源涂覆装置

基本信息

申请号 CN201610681849.9 申请日 -
公开（公告）号 CN106065495B 公开（公告）日 2018-10-23
申请公布号 CN106065495B 申请公布日 2018-10-23
分类号 B05D1/00;B05D1/02;H01L21/228;C30B31/04 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 张松;刘成法;张为国;刘超;陈寒 申请（专利权）人 上海大族新能源科技有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 上海大族新能源科技有限公司
地址 201615 上海市闵行区联航路1369弄6号305-2室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种扩散源涂覆装置。扩散源涂覆装置用于涂覆样品，包括旋转机构、固定架、支架和喷嘴阵列，旋转机构与固定架连接，支架与旋转机构连接，喷嘴阵列与支架连接，喷嘴阵列包括多个喷嘴，多个喷嘴均设置于支架上，扩散源涂覆装置对样品进行涂覆时，旋转机构带动支架旋转，使设置在支架上的喷嘴旋转对样品进行扩散源涂覆。上述扩散源涂覆装置能提高涂覆效果和加工效率，节约扩散源材料、降低工艺成本。