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退火氧化设备

基本信息

申请号	CN201510278862.5	申请日	-
公开（公告）号	CN104916740B	公开（公告）日	2017-08-11
申请公布号	CN104916740B	申请公布日	2017-08-11
分类号	H01L31/18	分类	基本电气元件;
发明人	张松;刘超;刘成法;徐大超;王鹏磊;季海晨;高云峰	申请（专利权）人	上海大族新能源科技有限公司
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	上海大族新能源科技有限公司
地址	201615 上海市松江区九泾路1000号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种退火氧化设备，该设备包括炉体、传送装置、进气装置、加热装置、冷却装置、保温层和控制装置。炉体一端设有进料口，另一端设有出料口，所述炉体包括相互连通的加热区和冷却区，所述冷却区靠近所述出料口；进气装置位于炉体内部并与炉体连通，加热装置和冷却装置均位于炉体外部，控制装置分别与传送装置、加热装置、进气装置和冷却装置连接。硅片经进料口进入炉体，经传送装置自进料口向出料口运动，硅片在炉体内的运动过程中，进气装置不断向炉体内输送氧气，控制装置通过控制加热装置、冷却装置以及传送装置进而调节炉体内的温度和硅片的传送速度，从而完成硅片的退火氧化工艺。硅片在从炉体中传送并输出的同时完成了硅片的退火氧化，减少了操作步骤，节约了生产时间。