一种高选择比氮化硅蚀刻液、其制备方法及应用
基本信息
| 申请号 | CN202010822571.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111849487B | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN111849487B | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | C09K13/06;H01L21/311;C07F7/18 | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 王溯;孙红旗;季峥;蔡进 | 申请（专利权）人 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 王卫彬;陈卓 |
| 地址 | 201616 上海市松江区思贤路3600号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高选择比氮化硅蚀刻液、其制备方法及应用。该蚀刻液由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：75％‑85％的磷酸、0.1％‑12％的化合物A和3％‑24％的水，所述的质量分数为各组分质量占各组分总质量的百分比。本发明的蚀刻液对氧化硅和氮化硅的蚀刻速率选择比适当、能够选择性地去除氮化物膜、提升蚀刻液的寿命且能适应层叠结构层数的增加。 |
