一种真空磁控溅射薄膜镀制设备
基本信息
| 申请号 | CN201922112052.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210945770U | 公开（公告）日 | 2020-07-07 |
| 申请公布号 | CN210945770U | 申请公布日 | 2020-07-07 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 宋泳东 | 申请（专利权）人 | 青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 266000山东省青岛市即墨区环秀街道办事处国家泊子村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，其包括镀膜装置主体，所述镀膜装置主体下壁面开设有通孔，所述镀膜装置主体前侧壁面开设有箱门，所述镀膜装置主体下端左右两侧装配有支撑座，所述镀膜装置主体内装配有悬挂结构，所述悬挂结构与箱门连接，所述镀膜装置主体下端装配有驱动结构；该真空磁控溅射薄膜镀制设备设计合理，结构简单，再打开箱门时，可以将悬挂结构拉出，方便于镀膜完成的设备取出，并且单个待镀膜设备在镀膜期间可自身转动，大大提高了镀膜的质量。 |
