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一种MASK目视检查机

基本信息

申请号 CN202011324027.8 申请日 -
公开（公告）号 CN112345525A 公开（公告）日 2021-02-09
申请公布号 CN112345525A 申请公布日 2021-02-09
分类号 G01N21/84(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 王景新;张建国 申请（专利权）人 深圳清溢光电股份有限公司
代理机构 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 宫建华
地址 518000广东省深圳市南山区朗山二路北清溢光电大楼
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开一种MASK目视检查机，用于对掩膜版的各生产工序进行检查并与取放版机械手进行对接，包括检查机主体、旋转机构、可在任意角度目视检测MASK正反面的装夹平台，所述装夹平台包括平台底架、两个对称设置于底架左右两边的传动机构、两个与对应的传动机构装配在一起并可相对于所述平台底架进行左右移动的装夹板，该MASK目视检查机在取放版、不同规格调整、角度旋转的操作均实现自动操作，可针对MASK尺寸进行装夹调整并兼容不同规格的MASK，检查过程角度可自动旋转并任意角度停止，可一次装夹检查正反面及在不同角度检查，与上下版机械手实现无缝对接，省去人工抬版的过程并实现MASK车间自动化。