一种光掩膜清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201821758937.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209577525U | 公开（公告）日 | 2019-11-05 |
| 申请公布号 | CN209577525U | 申请公布日 | 2019-11-05 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 熊启龙; 鄢红军 | 申请（专利权）人 | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈娟 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区朗山二路北清溢光电大楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光掩膜清洗装置，包括进液管，所述进液管为两个，在两个进液管的末端具有一段混合管，每一个所述进液管上安装气阀，所述混合管内部具有螺旋导流片，所述混合管末端安装液帘喷头。本实用新型是一种清洗光掩膜上有机污染物的改进装置，可以在更近的距离内完成工作，使清洗更加精确与彻底，并且不会产生液体飞溅的问题。 |
