一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具
基本信息
| 申请号 | CN202121796789.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215769348U | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN215769348U | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | G03F1/82（2012.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 黄志斌 | 申请（专利权）人 | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宫建华 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区朗山二路北清溢光电大楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，包括夹具本体，为设备主要的夹持结构，所述夹具本体的内表面设置有连接臂，所述连接臂的另一端连接有螺杆；清洗池，位于所述夹具本体的底端，所述清洗池的内表面设置有连接杆；套筒，位于所述夹具本体的顶端，所述套筒内部与所述的螺杆外表面相互连接。该提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，通过设置八个支撑座对掩膜版的侧面进行固定，能够提高对掩膜版支撑的稳定性，避免在清洗过程中施力不均匀而导致掩膜版从夹具内部翘起，不仅增加了清洗的安全性，同时也增加了对掩膜版的清洗效率。 |
