一种异形玻璃掩膜版生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202010639006.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111830784A | 公开（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申请公布号 | CN111830784A | 申请公布日 | 2020-10-27 |
| 分类号 | G03F1/82(2012.01)I;G03F1/68(2012.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 荆学军;熊启龙 | 申请（专利权）人 | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宫建华 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区朗山二路北清溢光电大楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例涉及光刻技术领域，公开了一种异形玻璃掩膜版生产方法，该方法通过接收待生产掩膜版图形，通过CAM系统对所述待生产掩膜版图形进行处理；根据CAM系统的处理结果，对玻璃掩膜版进行常规工艺处理；对常规工艺处理后玻璃掩膜版进行异性工艺处理，则完成异性玻璃掩膜版生产进行包装出货，本发明实施例提供的异形玻璃掩膜版生产方法实现了异形玻璃掩膜版生产，尤其通过异形加工前的掩膜版保护和异形加工后的清洗，使得加工过程中不损坏掩膜版的功能。 |
