一种提升光刻速度的方法、装置、存储介质及终端设备
基本信息
| 申请号 | CN202010790774.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111999985A | 公开（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申请公布号 | CN111999985A | 申请公布日 | 2020-11-27 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 郝明毅;朱春辉 | 申请（专利权）人 | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宫建华 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区朗山二路北清溢光电大楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例涉及光刻技术领域，公开了一种提升光刻速度的方法，该方法通过实时检测当前扫描宽度是否小于预设扫描宽度；若当前扫描宽度小于预设扫描宽度，读取经图形转换单元转换的数据，像素生成器解压所述数据，并删除解压后的数据两端冗余像素数据，获得有效像素数据；根据读取的所述有效像素数据，控制栅式光阀的微结构；根据设定参数和所述有效像素数据，将图形刻制在工件上，所述预定参数包括激光器脉冲频率、激光器的输出能量及运动平台的运动速度，本发明，当扫描宽度减小时，栅式光阀每一帧都只装载有效像素数据，从而提升单位时间内装载的帧数，提升栅式光阀的刷新率。 |
