晶圆片过溶液时防漂浮装置
基本信息
| 申请号 | CN202121160690.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215236327U | 公开（公告）日 | 2021-12-21 |
| 申请公布号 | CN215236327U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | B08B3/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;C30B33/10（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 蔡锦波;谷海明 | 申请（专利权）人 | 马鞍山市槟城电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 潘登 |
| 地址 | 243000安徽省马鞍山市经济技术开发区湖西南路2189号5栋1号厂房南面 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种晶圆片过溶液时防漂浮装置。该晶圆片过溶液时防漂浮装置包括提篮、花篮以及防浮件。提篮包括相连的主体部和安装部，安装部用于安装至机械手。花篮位于提篮的下方且与提篮可拆卸地连接，花篮具有用于容纳物体的容纳腔。防浮件可转动安装于主体部，防浮件能够摆动至抵压物体的抵压位置，以使得物体限位于容纳腔，或者防浮件能够摆动至远离物体的避让位置。防浮件包括相连的竖直部和水平的抵压部，抵压部用于抵压物体，竖直部可转动安装于主体部。在清洗晶圆片或者处理晶圆片表面时，可以旋转防浮件，使得防浮件摆动至抵压位置，使得晶圆片限位于容纳腔，使得晶圆片不会浮出溶液或者掉落至溶液中。 |
