一种双向管式PECVD系统及其制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910948586.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110760821A | 公开（公告）日 | 2020-02-07 |
| 申请公布号 | CN110760821A | 申请公布日 | 2020-02-07 |
| 分类号 | C23C16/458;C23C16/513 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱旭东;史孟杰 | 申请（专利权）人 | 无锡嘉瑞光伏有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张超 |
| 地址 | 214200 江苏省无锡市宜兴市金张渚工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双向进出管式PECVD系统，包括至少一个设备进口和一个设备出口，自设备进口朝向设备出口依次设置放舟部、预热部、PECVD工艺反应炉管、冷却部和取舟部，放舟部将石墨舟外部的石墨舟抓取并收取到放舟部，放舟部将石墨舟放至预热部进行预热，预热完成后石墨舟移动到PECVD工艺反应炉管进行反应，结束后再到冷却部冷却，冷却结束后通过取舟部将石墨舟取出设备。本发明还公开了此种双向进出管式PECVD系统的制备工艺。采用本发明的设计，采用双向进出的模式进行PECVD反应，当进行PECVD反应的同时能够进行预热操作，大大加快了生产工艺的进程。 |
