一种PECVD用石墨舟
基本信息
| 申请号 | CN201921668427.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211170885U | 公开（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申请公布号 | CN211170885U | 申请公布日 | 2020-08-04 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 朱旭东;史孟杰 | 申请（专利权）人 | 无锡嘉瑞光伏有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张超 |
| 地址 | 214200江苏省无锡市宜兴市金张渚工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PECVD用石墨舟，包括多层堆叠设置的石墨舟片，相邻的石墨舟片间有用于放置硅片的空隙，在石墨舟片的靠近边缘处有两根将多片石墨舟片串接的电极柱，相邻的两片石墨舟片，分别连接到两根电极柱，即相邻的两片石墨舟片，一片只接一根电极柱，另一片不再连接当前电极柱，而是连接另一根电极柱。采用此种设计，能够在相邻的两个石墨舟片形成不同的极性。 |
