一种双向进出管式PECVD设备
基本信息
| 申请号 | CN201921668142.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211170884U | 公开（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申请公布号 | CN211170884U | 申请公布日 | 2020-08-04 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 朱旭东;史孟杰 | 申请（专利权）人 | 无锡嘉瑞光伏有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张超 |
| 地址 | 214200江苏省无锡市宜兴市金张渚工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种双向进出管式PECVD设备，包括至少一个设备进口和一个设备出口，自设备进口朝向设备出口依次设置放舟部、预热部、PECVD工艺反应炉管、冷却部和取舟部，放舟部将石墨舟外部的石墨舟抓取并收取到放舟部，放舟部将石墨舟放至预热部进行预热，预热完成后石墨舟移动到PECVD工艺反应炉管进行反应，结束后再到冷却部冷却，冷却结束后通过取舟部将石墨舟取出设备。采用本实用新型的设计，采用双向进出的模式进行PECVD反应，当进行PECVD反应的同时能够进行预热操作，大大加快了生产工艺的进程。 |
