一种防止形成湿气涡流的化学气相沉积蒸镀设备
基本信息
| 申请号 | CN202020664903.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212051642U | 公开（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申请公布号 | CN212051642U | 申请公布日 | 2020-12-01 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 段明浩;张哲;白新愿 | 申请（专利权）人 | 西安瀚维光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 韩玙 |
| 地址 | 710119陕西省西安市高新区上林苑一路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种防止形成湿气涡流的化学气相沉积蒸镀设备，包括依次连接的进料门、材料蒸发池、材料裂解池、镀膜腔体，镀膜腔体依次通过管道连接冷阱、机械真空泵，镀膜腔体与冷阱之间的管道上连接慢开截止阀；在镀膜腔体和冷阱之间增加了可控慢开截止阀，将镀膜腔体抽真空的初始抽速降低，从而有效地避免了镀膜腔体压力陡然下降而造成的湿气涡旋，进而能够避免被镀湿度敏感器件被湿气涡流损坏的问题；通过真空计的反馈信号闭环控制镀膜腔体抽真空和破真空的整个过程，从而有利于实现各个阶段真空度和抽速的自动化控制，管道上缠绕的加热带控制管道温度，有效地避免出现抽真空通道被蒸镀材料堵塞的现象。 |
