一种非晶硅X光图像传感器
基本信息
| 申请号 | CN202010345362.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111508985A | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN111508985A | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | H01L27/146;C23C14/06 | 分类 | - |
| 发明人 | 段明浩 | 申请（专利权）人 | 西安瀚维光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 韩玙 |
| 地址 | 710119 陕西省西安市高新区上林苑一路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种非晶硅X光图像传感器，包括含有非晶硅感光芯片的X光成像系统，非晶硅感光芯片感光面通过真空热蒸镀法蒸镀碘化铯粉末形成闪烁体膜，X光经过闪烁体膜转化为可见光，闪烁体膜表面蒸镀纳米防水封装膜，纳米防水封装膜上贴敷黑色PET膜；在非晶硅图像传感器的非晶硅感光芯片的感光面蒸镀碘化铯形成闪烁体膜，直接用化学气相沉积法蒸镀防水性能极好的派瑞林C，然后，在防水膜上贴敷黑色PET膜吸收杂散光，能够有效提高了X光图像分辨率；同时，大大提高产品防水性能和可靠性。 |
