一种位置信息采集系统及曝光系统

基本信息

申请号 CN202021595399.X 申请日 -
公开(公告)号 CN213956258U 公开(公告)日 2021-08-13
申请公布号 CN213956258U 申请公布日 2021-08-13
分类号 G01B11/02(2006.01)I;G08C23/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 张峰;李伟成;张雷 申请(专利权)人 苏州源卓光电科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215026江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
法律状态 -

摘要

摘要 一种位置信息采集系统及曝光系统,所述位置信息采集系统包括读数头和位置检测板、电光转换模块、光电转换模块和光纤,所述读数头连接电光转换模块,所述位置检测板连接光电转换模块,所述电光转换模块和所述光电转换模块通过光纤连接。所述曝光系统包括移动平台系统、投图控制系统,通过上述位置信息采集系统连接所述移动平台系统和投图控制系统。本实用新型利用光纤传输位置信息,有效减少了电磁干扰对位置检测板的影响,进而获得稳定可靠的位置信号。