一种DMD多区域激光投影系统及曝光方法
基本信息
| 申请号 | CN201811151981.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109116686B | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN109116686B | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张雷 | 申请（专利权）人 | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王新生 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种DMD多区域激光投影系统及曝光方法，包括DMD控制系统、光学系统、掩膜板、分图系统及运动控制系统，本发明在单个DMD上显示多个曝光图形，配合光学系统，把多个曝光图形映射到掩膜板的不同曝光区域进行曝光，整个系统可以使用单个DMD或多个DMD同时曝光，按此发明的方法曝光可以快速提高曝光整体时间，同时又节约DMD的物料成本。 |
