一种双台面直写式曝光机及其曝光方法
基本信息
| 申请号 | CN201911006996.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112698549A | 公开（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申请公布号 | CN112698549A | 申请公布日 | 2021-04-23 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 章卫平;刘栋;蔡瑞;朱道龙;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人 | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215026 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种双台面直写式曝光机及其曝光方法，所述直写式曝光机包括底座、设置于底座上的龙门机构、顺序设置于龙门机构的对位机构和曝光机构，设置于所述底座平行排列的沿扫描方向y方向延伸的导轨，分别设置于所述导轨上的第一工作台运动和第二工作台，所述第一工作台和所述第二工作台均包括置于所述导轨上的z轴运动机构、连接于所述z轴运动机构的基板台面，z轴运动机构带动基板台面在z轴方向上下滑动，所述曝光机构包括固定于龙门机构的x方向排列的多个镜头。在曝光时，第一工作台和第二工作台交替对位曝光操作。能够提高曝光精度并且避免第一工作台和第二工作台相撞。 |
